Шевнина Ю.С.
- Адрес страницы:
- https://tulsu.ru/science/dissertation/diss-24-2-417-03/shevnina-yus-24-2-417-03
- ФИО соискателя:
- Шевнина Ю.С.
- Специальность:
- 2.2.11. Информационно- измерительные и управляющие системы
Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук «ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ И УПРАВЛЯЮЩИЕ СИСТЕМЫ ПРОИЗВОДСТВЕННЫМИ ПРОЦЕССАМИ ДЛЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ»
Диссертация:
ссылка
от 01.07.2024 г.,
4,94МБ, 
Отзыв научного руководителя:
ссылка
от 01.07.2024 г.,
2,47МБ,